-  - 
© Публичная Библиотека
Универсальная библиотека, портал создателей электронных книг. Только для некоммерческого использования!
.

С. Зи 1k

-

()

.
.
Сочинения:
* Технология СБИС: В 2-х книгах. Книга 1. (1986) Соавт.: К. Пирс и др. Под ред. С.Зи.
* Технология СБИС: В 2-х книгах. Книга 2. (1986) Соавт.: К. Могэб и др. Под ред. С.Зи.
.
.
  • Технология СБИС: В 2-х книгах. Книга 1. [Djv- 4.5M] Авторы: К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, Дж. Цай, Т. Сейдел, Д. Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
    (Москва: Мир: Редакция литературы по новой технике, 1986)
    Скан, обработка, формат Djv: АЧ, 2003
Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
.
.
  • Технология СБИС: В 2-х книгах. Книга 2. [Djv- 5.5M] Авторы: К. Могэб, Д. Фрейзер, У. Фичтнер, Л. Паррильо, Р. Маркус, К. Стейдел, У. Бертрем. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
    (Москва: Мир: Редакция литературы по новой технике, 1986)
    Скан, обработка, формат Djv: АЧ, 2003
Аннотация издательства: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
.