ИЗ ИЗДАНИЯ: Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге излагаются физические представления о процессе криоконденсационной откачки Рассматриваются принципы действия, способы охлаждения, характеристики и параметры крионасосов. Большое внимание уделено вопросам конструирования и основам расчета крионасосов
Книга представляет интерес для широкого круга инженеров и научных работников, специализирующихся в области вакуумной техники и смежных с ней областях.

ИЗ ИЗДАНИЯ: Рассмотрены физические основы действия и конструктивные схемы магнетронных распылительных устройств (магратронов). Приведены основные сведения о технологических возможностях магратронов по нанесению тонких пленок. Описаны типичные конструкции установок для нанесения топких пленок с использованием магратронов.
Использовано 87 отечественных и зарубежных источников (журнальные статьи, книги, патенты и др.) в основном за 1973-1979 гг.
Обзор предназначен для специалистов, занимающихся как конструированием технологического оборудования, так и изготовлением ИС и полупроводниковых приборов, может служить учебным пособием для студентов вузов по специальности «Полупроводниковое машиностроение».