![]() |
Никита Константинович Иванов-Есипович
|
![]() |
* Инвариантность процесса плазменного анодирования при изготовлении микросхем. (1974) Соавт.: Ю.В. Рубан
* Конструирование и микроминиатюризация радиоэлектронной аппаратуры. (1972, 1984)
* Технология микросхем.
* Управляемое легирование пленок тантала при изготовлении микросхем. (1974) Соавт.: С.В. Козлов, Ю.Г. Тупиков
* Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры. (1979) Учеб. пособие
* Фотолитографическая обработка толстых пленок электропроводных стеклоэмалей. (1979) Соавт.: Л.П. Таипова
* Конструирование и микроминиатюризация радиоэлектронной аппаратуры. (1972, 1984)
* Технология микросхем.
* Управляемое легирование пленок тантала при изготовлении микросхем. (1974) Соавт.: С.В. Козлов, Ю.Г. Тупиков
* Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры. (1979) Учеб. пособие
* Фотолитографическая обработка толстых пленок электропроводных стеклоэмалей. (1979) Соавт.: Л.П. Таипова
![]() |
Аннотация издательства: Вопросы технологии основного производства радиоэлектронной аппаратуры рассмотрены в книге с позиций физико-химической природы технологического воздействия на исходные материалы и заготовки. Применена новая (в отличие от первого издания 1965 г.) систематизация специфических для отрасли физико-химических технологических процессов, объединяющая их в четыре класса: термические и термохимические, химические и электрохимические, вакуумные, печатные и покровные технологические процессы. Каждый класс рассмотрен на базе обширного фактического материала. В книге использованы патентные источники, материалы периодических изданий, стандарты. |