Данилин Борис Степанович (вакуумная техника)

борис степанович данилин на страницах библиотеки упоминается 4 раза:

* «Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры» (серия)
* Всесоюзное общество по распространению политических и научных знаний. Серия 04
* Всесоюзное общество по распространению политических и научных знаний. Серия 09
* Данилин Борис Степанович (вакуумная техника)

* Данилин Б.С., Сырчин В.К._ Магнетронные распылительные системы.(1982).djvu
* Данилин Б.С., Сырчин В.К._ Магнетронные распылительные системы.(1982).pdf
* Данилин Б.С._ Вакуум и его применение.(1958).pdf
* Данилин Б.С._ Вакуумное нанесение тонких пленок.(1967).pdf
* Данилин Б.С._ Вакуумные насосы и агрегаты.(1957).pdf
* Данилин Б.С._ Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники.(1987).pdf
* Данилин Б.С._ Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок.(1989).djvu
* Данилин Б.С._ Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок.(1989).pdf
* Danilin_B.S...__Osnovy_konstruirovaniya_vakuumnyh_sistem.(1971).[djv-fax].zip
* Danilin_B.S...__Osnovy_konstruirovaniya_vakuumnyh_sistem.(1971).[pdf-fax].zip
* Danilin_B.S.__Vakuumnoe_nanesenie_tonkih_plenok.(1967).[djv-fax].zip
* Danilin_B.S.__Vakuumnye_nasosy_i_agregaty.(1957).[djv-fax].zip
* Danilin_B.S.__Vakuumnye_tehnologicheskie_processy_i_oborudovanie_mikroelektroniki.(1987).[djv-fax].zip
* Danilin_B.S.__Vakuum_i_ego_primenenie.(1958).[djv-fax].zip

Архив этой страницы:

Список некоторых изданий (групп изданий), текстографии сборников, литература:

* Данилин Б.С. Вакуум и его применение. (1958)
* Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. (1967)
* Данилин Б.С. Вакуумные насосы и агрегаты. (1957)
* Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники. (1987)
* Данилин Б.С... Основы конструирования вакуумных систем. (1971)

Описания некоторых изданий:

Ⓐ ⒸДанилин Б.С. Вакуум и его применение. [Djv- 1.5M] Автор: Борис Степанович Данилин.
(Москва: Трудрезервиздат, 1958. - Серия «Новая техника и передовые методы труда»)
Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2008

СОДЕРЖАНИЕ:
Введение (3).
I. Понятие о вакууме и важнейшие свойства разреженного газа.
II. Техника получения и измерения вакуума.
1. Современные способы получения вакуума (11).
2. Вакуумные насосы (12).
3. Физико-химические способы получения вакуума (23).
4. Новые методы откачки (26).
5. Устройство вакуумных систем (30).
6. Техника измерения вакуума (42).
7. Получение и измерение сверхвысокого вакуума (50).
8. Испытание вакуумной аппаратуры на герметичность (51).
III. Применение вакуума.
1. Производство электровакуумных приборов (60).
2. Электронный микроскоп (73).
3. Плавка и спекание металлов в вакууме (76).
4. Металлизация в вакууме (81).
5. Сушка и пропитка под вакуумом электротехнических материалов (84).
6. Сушка пищевых продуктов методом сублимации в вакууме (87).

ИЗ ИЗДАНИЯ: Брошюра дает некоторые элементарные представления о вакууме и важнейших свойствах высокоразреженного газа, знакомит читателя с техникой получения и измерения вакуума, с устройством вакуумных систем и использованием вакуума в различных областях науки, техники и промышленного производства.
Брошюра рассчитана на преподавателей и мастеров учебных заведений трудовых резервов Может быть полезна также инженерно-техническим работникам, которым по роду своей работы приходится иметь дело с различного рода вакуумной аппаратурой.

Ⓐ ⒸДанилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. [Djv- 4.6M] Автор: Борис Степанович Данилин. Под общей редакцией Р.А. Нилендера.
(Москва: Издательство «Энергия», 1967)
Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2008

ОГЛАВЛЕНИЕ:
Предисловие (3).
Глава первая. Получение и применение тонких пленок (7).
1-1. Термическое испарение в вакууме (7).
1-2. Обработка пленок с помощью электронных и ионных пучков и оптических квантовых генераторов (12).
1-3. Катодное распыление (20).
1-4. Ионно-плазменное распыление (23).
1-5. Осаждение пленок из паровой и газовой фаз (27).
1-6. Тонкопленочные микросхемы (32).
1-7. Тонкие пленки в технике СВЧ, оптике и запоминающих устройствах (73).
Глава вторая. Получение и измерение вакуума (77).
2-1. Требования к вакууму и составу остаточной среды при напылении тонких пленок (77).
2-2. Откачные средства (85).
2-3. Приборы для измерения вакуума и парциальных давлений (136).
Глава третья. Вакуумное напылительное оборудование (154).
3-1. Вакуумные конструкционные материалы (154).
3-2. Конструкционные элементы вакуумных напылительных установок (170).
3-3. Испарители (214).
3-4. Контроль скорости напыления и толщины тонких пленок (243).
3-5. Вакуумные напылительные установки и линии (267).
Литература (304).

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.

Ⓐ ⒸДанилин Б.С. Вакуумные насосы и агрегаты. [Djv- 1.8M] Автор: Борис Степанович Данилин. Под редакцией Р.А. Нилендера.
(Москва - Ленинград: Госэнергоиздат, 1957)
Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2008

СОДЕРЖАНИЕ:
Предисловие (3).
I. Введение (5).
II. Вращательные масляные насосы (9).
1. Пластинчато-роторные насосы (11).
2. Пластинчато-статорные насосы (18).
3. Золотниковые (плунжерные) насосы (20).
а) Насосы ВН-1 и ВН-2 (21).
б) Насосы ВН-4 и ВН-6 (26).
III. Вращательные многопластинчатые насосы (31).
IV. Высоковакуумные пароструйные насосы (34).
1. Парортутные и паромасляные насосы (34).
2. Вспомогательные (бустерные) насосы (63).
V. Вакуумные агрегаты (68).
VI. Особенности эксплуатации вакуумных насосов (77).
VII. Рекомендации по выбору насосов (87).
Приложения:
1. Технические параметры и характеристики масляных вращательных насосов (94).
2. Технические характеристики вращательных многопластинчатых насосов (96).
3. Технические параметры и характеристики парортутных насосов (97).
4. Технические параметры и характеристики высоковакуумных насосов (99).
5. Технические параметры и характеристики высоковакуумных насосов единой серии (100).
6. Технические параметры и характеристики вакуумных агрегатов (102).
7. Технические параметры и характеристики вспомогательных (бустерных) насосов (106).
8. Технические характеристики азотных ловушек, применяемых в вакуумных агрегатах (107).
9. Краткие сведения о заграничных вакуумных насосах (109).
Литература (112).

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных.
Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области электровакуумной техники, при проектировании различных вакуумных установок.

Ⓐ ⒸДанилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники. [Djv-1007k] Автор: Борис Степанович Данилин.
(Москва: Издательство «Машиностроение», 1987)
Скан, обработка, формат Djv: Sergege, 2008

СОДЕРЖАНИЕ:
Введение (3).
1. Плазмохимическое осаждение при пониженном давлении (5).
1.1. Основные принципы метода (5).
1.2. Получаемые материалы и используемые газы (9).
1.3. Типы и конструкции реакторов и установок (14).
1.4. Влияние различных факторов на параметры процесса осаждения (19).
2. Вакуумно-плазменное травление (23).
2.1. Классификация процессов вакуумно-плазменного травления (ВПТ) (23).
2.2. Типы и конструкции установок для ВПТ. (34).
2.3. Влияние различных факторов на параметры процесса травления (38).
2.4. Поддержание требуемого состава рабочего газа (44).
2.5. Повышение коэффициента использования рабочего газа и ресурса работы откачных средств (46).
3. Откачные средства (48).
3.1. Требования к откачным средствам (48).
3.2. Механические насосы с масляным уплотнением (49).
3.3. Двухроторные вакуумные насосы (ДВН) (53).
3.4. Диффузионные паромасляные насосы (54).
3.5. Турбомолекулярные насосы (ТМН) (56).
3.6. Крионасосы (58).
3.7. Откачные системы (60).
3.8. Специфические свойства рабочих газов (62).
Заключение (65).
Вопросы для самопроверки (69).
Список литературы (70).

ИЗ ИЗДАНИЯ: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.