![]() |
Юрий Сергеевич Боков
|
![]() |
юрий сергеевич боков на страницах библиотеки упоминается 2 раза:
* «Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры» (серия)
* Боков Юрий Сергеевич
* «Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры» (серия)
* Боков Юрий Сергеевич
Архив страницы:
Издания:
* Фото-, электроно- и рентгенорезисты. (1982)
* Фото-, электроно- и рентгенорезисты. (1982)
![]() |
Аннотация издательства: Посвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов. Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники. |
![]() |