Зи С.

Ⓐ ⒸТехнология СБИС: В 2-х книгах. Книга 1. [Djv-Fax- 4.4M] Авторы: К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, Дж. Цай, Т. Сейдел, Д. Макгиллис. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
(Москва: Мир: Редакция литературы по новой технике, 1986)
Скан, обработка, формат Djv-Fax: АЧ, 2003

СОДЕРЖАНИЕ:

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальиых слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

▼

▲

Ⓐ ⒸТехнология СБИС: В 2-х книгах. Книга 2. [Djv-Fax- 5.5M] Авторы: К. Могэб, Д. Фрейзер, У. Фичтнер, Л. Паррильо, Р. Маркус, К. Стейдел, У. Бертрем. Под редакцией С.Зи. Перевод с английского.
(Москва: Мир: Редакция литературы по новой технике, 1986)
Скан, обработка, формат Djv-Fax: АЧ, 2003

СОДЕРЖАНИЕ:

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.